林千山 作品

第274章 EUV光刻机三大件(第2页)

 

提前把消防工作做好,不用隔三差五地老是上门去检查。

 

这服务,这待遇。

 

也就在穷得掉渣的铜城,才能享受到。

 

所以,没有见到公益组织和慈善机构登门化缘,罗辉很自然地把功劳归到杨主任身上。

 

不用沟通。

 

肯定是老头子干的。

 

而且,字节乐动集团一明一暗,共计交税近千亿,能分给铜城的数字也不会低于两百亿。

 

有这么大一笔资金留在铜城,平时资金紧张的民政类公益组织手头应该不会太困难。

 

至于慈善组织不等门的话,罗辉权当没看见。

 

信不过!

 

也看不上。

 

不是每个慈善组织会像韩大姐那样毫无保留地把资金用到穷乡僻壤,用给最该用的人。

 

现在这笔资金省下来了,他准备加强到另一个作用上投资光刻机三大件研发。

 

他没敢奢望研制纯国产的极紫外光刻机,也就是euv光刻机。

 

只想把有限的资金投入euv最重要的光源系统、双工件操作台和物镜系统三个最重要的领域。

 

看起来很简单。

 

实际上这三个核心部件的研发过程,比登月工程难多了。

 

首先是光源。

 

根据罗辉的记忆,国产光源短时间内可以突破到190纳米左右的激光光源,却迟迟无法突破1014纳米左右的极紫外光光源。

 

不过,问题不大。

 

研发国产光源的最难点早就被解决了,剩下的只是筛选激光技术而已。

 

这方面也有技术储备。

 

只要肯砸钱,三五年内绝对有突破。

 

其次是双工件操作台。

 

这玩意儿才是euv光刻机研发过程中最难征服的一座珠穆朗玛峰。

 

技术难度在于,移动过程中的晶圆平台速度可以达到吓人的100公里每小时。

 

相当于全速疾驰的跑车。

 

但,要这辆跑车停下来的时间只有0.4秒,距离斑马线的误差不能超过0.06纳米。

 

现实环境中,这样一辆车无法制造。

 

谁有这么牛逼的刹车?

 

可是,双工件台的技术要求就这么苛刻,只能让科研人员脑洞大开的想办法。

 

技术突破有可能是一瞬间的事,也有可能是一辈子都无法完成的事。

 

看运气的几率非常大。

 

也是需要砸钱最多的项目。

 

最后一部分是物镜部件的研发。

 

这玩意儿得分成两部分看待。

 

一部分是镜片的平滑度。

 

要求很吓人。

 

如果把euv光刻机镜片放大到地球大小,那么就得要求这枚镜片上的突起不超过八十米。

 

放眼全球,只有蔡司公司的生产工艺可以达到要求。

 

国产部件想要突破,就得不惜工本地反复试验。

 

工艺部分考验的是配方和技术,没有捷径可走。

 

不对!

 

有捷径!

 

可以建造太空工厂用来生产制造euv光刻机的镜片。

 

无重力环境可以制造出比蔡司公司打磨得更平滑的镜片。

 

镜片生产工艺的另一部分内容则是表面涂层。

 

这些涂层要求可以吸收长度超过14纳米的光波,却要反射1014纳米区间的光波。

 

还是个反复砸钱搞实验的项目。

 

钱砸的越多,突破得越快。

 

本章完